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滿足半導體密封的挑戰
提供
最全面的密封組合我們利用專有聚合物和工藝技術，以及各種不同的壓縮成型能力，提供最全面的密封組合，在先進製程上,我們開發最關鍵的應用提供客製化之完善解決方案。
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高規格檢驗品管
持續創新研發
不間斷提供貨源持續供應EQUATOR®致力研發廣泛的創新密封材料和產品範圍，面對最苛刻的半導體製造環境中提供卓越的密封完整性。半導體產業對於O型環有抗溫耐化的特殊需求。
- 製程應用
- EQUATOR® 有著超過15年以上的卓越製造經驗，為因應產業不斷的發展與創新，面對嚴苛的製程條件，我們致力於提供各種解決方案，持續開發新的特殊彈性體材料並同步提供最佳的密封解決方案。
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- 薄膜製程TF
- 薄膜製程分為CVD ( 化學氣相沉積 )，PVD ( 物理氣相沉積 ) 此兩種沉積方式均會對製程密封應用來說有著不同的考驗。
- 蝕刻製程Etch
- 蝕刻製程分為 Dry Etching ( 乾式蝕刻 ) ，Wet Etching ( 濕式蝕刻 ) 。蝕刻製程上主要使用高強度電漿與不同的化學品均會對製程密封應用來說有著不同的考驗。
- 擴散製程Diff
- 擴散製程分為 Ion Implantation ( 離子植入 )，Diffusion ( 擴散 ) 。擴散製程上主要使用極高的溫度與不同的化學品均會對製程密封應用來說有著不同的考驗。