SimbaTM 87520
全氟化彈性體密封件
Perfluoroelastomer
- 次世代無添加物之聚合技術，大幅提升潔淨度
- 適合應用在乾式蝕刻製程，與濕式蝕刻製程。適用之化學品如：HCl, HNO3, HF等。並且對於大部分的有機溶劑、酸類與鹼類，均能表現出極優異且穩定之特性。
- 在氧化與電漿環境下,大幅減少微塵之產生。
- 能表現出優異的物理特性，並採用獨家專利之聚合技術，大幅提高裂解溫度性能(無氧環境TGA測試)。
- 連續使用溫度可達280℃
- 對於在鋁件接著應用上，搭配專利接著技術，可應用於閉合閘門密封件(Bonded Gate Seals, Slit Valve Seals)亦能充分表現出本產品之優異性能。
- 本產品之最後包裝與清潔均於無塵室內完成。
- 典型物理特性
- 硬度 (Shore A)
- 顏色
- 模數 (100 % Modulus)
- 拉伸強度 (Tensile, MPa)
- 延伸率 (Elongation, %)
- 壓縮變形率 ( %, 70 hr @ 250℃ )
- 最高連續使用溫度 (℃)
- 72
- 透光深琥珀色
- 4
- 10.2
- 240
- 21.2
- 280
- 特性與優點
- 適合應用於高溫乾式蝕刻製程
- 適合應用於濕式蝕刻製程
- 優異的電漿耐受性
- 極佳的化學耐受性
- 優異的產品物理特性
- 優異的壓縮變形率
- 最高連續使用溫度280℃
- 長時間、穩定並優異的高溫密封性能
- 建議應用位置
- 反應槽密封件 (Chamber Seals)
- 管線接頭密封件 (Fitting Seals)
- 氣體管線密封件(Gas Inlet/Outlet Pumping Line Seals)
- 閥件密封件 (Valve Seals)
- 建議應用製程
- 乾式蝕刻(Dry Etch)
- 濕式蝕刻(Wet Etch Acid,Base)
- 擴散(Diffusion)
- 離子植入(Ion Implant)
- 快速回火(RTP)
- 濕式去光阻(Wet Stripping Solvents)
- 濕式清潔(Wet Cleaning UPDI)