SimbaTM 88082

全氟化彈性體密封件
Perfluoroelastomer

  • 超過1800種化學品嚴苛考驗，維持優異密封性
  • 在濕式製程環境，對於產品清潔度與物理特性，均能表現出極優異且穩定密封之特性。
  • 採用獨家專利之聚合技術，大幅提高產品潔淨度。
  • 針對酸類、鹼類、胺類與其他化學溶劑等，均能表現出優異的耐受性(Chemical Resistance)。
  • 對於在鋁件接著應用上，搭配專利接著技術，可應用於閉合閘門密封件(Bonded Gate Seals, Slit Valve Seals)。亦能充分表現出本產品之優異性能。
  • 本產品之最後包裝與清潔均於無塵室內完成。
更多產品系列比較
  • 典型物理特性
    • 硬度 (Shore A)
    • 顏色
    • 模數 (100 % Modulus)
    • 拉伸強度 (Tensile, MPa)
    • 延伸率 (Elongation, %)
    • 壓縮變形率 ( %, 70 hr @ 250℃ )
    • 最高連續使用溫度 (℃)
    • 80
    • 黑色
    • 6.2
    • 14.8
    • 150
    • 17
    • 230
  • 特性與優點
  • 適合應用於濕式蝕刻製程
  • 優異的化學品耐受性
  • 優異的產品潔淨度
  • 優異的壓縮變形率
  • 最高連續使用溫度230℃
  • 建議應用位置
  • 反應槽密封件 (Chamber Seals)
  • 氣體管線密封件(Gas Inlet/Outlet Pumping Line Seals)
  • 過濾口密封件(Filter Seals)
  • 建議應用製程
  • 濕式蝕刻(Wet Etch Acid,Base)
  • 濕式去光阻(Wet Stripping Solvents)
  • 濕式清潔(Wet Cleaning UPDI)
  • 濕式金屬塗佈(Wet Metal Plating)
  • 化學機械研磨(CMP)
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