ChitaTM
氟化彈性體密封件
Fluoroelastomer
- 兼具性能與經濟的密封夥伴
- Chita™ FKM為一種分子聚合物彈性體。FKM氟橡膠為全合成之橡膠，與其他傳統橡膠材料相較，氟化橡膠在物理特性上具有較高之拉伸強度及結構強度，同時具備了耐高溫，靜態密封可使用在攝氏220℃嚴苛環境下長時間維持氣密。
- 抗化性上，氟化橡膠具有極佳之耐腐蝕性，對於有機溶劑，有無機酸類，強氧化劑，及油脂類的耐腐性等廣泛之應用。於半導體，平面顯示器，航空，國防，機械，汽車，化工等工業領域中。
- 典型物理特性
- 硬度 (Shore A)
- 顏色
- 模數 (100 % Modulus)
- 拉伸強度 (Tensile, MPa)
- 延伸率 (Elongation, %)
- 壓縮變形率 ( %, 70 hr @ 250℃ )
- 最高連續使用溫度 (℃)
- 75
- 黑色
- 6
- 10
- 150
- 25
- 220
- 特性與優點
- 高真空環境擁有良好的密封性能
- 良好的物理特性
- 常見一般化學環境下仍能保持優異的氣密性
- 建議應用位置
- 反應槽密封件 (Chamber Seals)
- 管線接頭密封件(Fitting Seals)
- 閥件密封件(Valve Seals)
- 閥門開關(Slit valve doors)
- 氣體管線密封件(Gas Inlet/Outlet Pumping Line Seals)
- 建議應用製程
- 乾式蝕刻(Dry Etch)
- 濕式蝕刻(Wet Etch Acid,Base)
- 擴散(Diffusion)
- 離子植入(Ion Implant)
- 快速回火(RTP)
- 濕式去光阻(Wet Stripping Solvents)
- 濕式清潔(Wet Cleaning UPDI)
- 化學氣象沉積(CVD、PVD、Sputter)