LeopardTM
氟化彈性體密封件
Fluoroelastomer
- 兼具性能與經濟的密封夥伴
- Leopard™ 系列為含氟量更高的氟橡膠產品，在橡膠應用性能上，表現介於FFKM 及FKM之中。
- 在物理應用特性上，同時具有較高之拉伸延展力及結構強度，並且兼具了耐高溫與抗化之效能，可連續使用在攝氏240℃嚴苛環境下並維持長時間氣密。
- 抗化性上，氟化橡膠具有極佳之耐腐蝕性，對於有機溶劑，有無機酸類，強氧化劑，及油脂類的耐腐蝕性均優於其他種類橡膠。
- 氟化橡膠之氣密性、耐候性、耐燃性、耐輻射性及耐真空性亦優於其他彈性體材料，故廣泛應用於半導體、平面顯示器、航空、國防、機械、汽車、化工等科技與工業領域中。
- 典型物理特性
- 硬度 (Shore A)
- 顏色
- 模數 (100 % Modulus)
- 拉伸強度 (Tensile, MPa)
- 延伸率 (Elongation, %)
- 壓縮變形率 ( %, 70 hr @ 250℃ )
- 最高連續使用溫度 (℃)
- 75
- 白色
- 6
- 10
- 150
- 25
- 240
- 特性與優點
- 高真空環境擁有良好的密封性能
- 優異的物理特性
- 化學環境下仍能保持極佳的氣密性
- 建議應用位置
- 反應槽密封件 (Chamber Seals)
- 管線接頭密封件(Fitting Seals)
- 氣體管線密封件(Gas Inlet/Outlet Pumping Line Seals)
- 閥件密封件(Valve Seals)
- 閥門開關(Slit valve doors)
- 建議應用製程
- 乾式蝕刻(Dry Etch)
- 濕式蝕刻(Wet Etch Acid,Base)
- 擴散(Diffusion)
- 離子植入(Ion Implant)
- 快速回火(RTP)
- 濕式去光阻(Wet Stripping Solvents)
- 濕式清潔(Wet Cleaning UPDI)
- 化學氣象沉積(CVD、PVD、Sputter)