• 耐腐蝕

  • EQUATOR® 致力於強化多種技術,耐腐蝕材料應用在乾式蝕刻製程與溼式蝕刻製程,適用於絕大部份的有機溶劑、酸類與鹼類,均能表現出極優異且穩定之特性。

    EQUATOR® 全氟化彈性體密封件能抵抗超過1800種化學品之嚴苛考驗並且維持極為優異密封性能,有效減少製程缺陷,與微粒汙染。在半導體晶圓製造和其他高腐蝕性化學產業應用上,EQUATOR® 全氟化密封件提供了卓越的耐化性、耐熱性與超高潔淨度表現。並且在奈米先進製程中,EQUAUTOR® 全系列產品表現優異,擁有領先地位。
  • 化學耐受性達
  • 1800種
  • 優異化學耐受性
    有效增加產品生命週期
  • 全球通行性
  • 99.9%
  • EQUATOR®所研發產品
    適用現有機型普及率持續成長
  • 密封技術
  • 1Xnm
  • 領導先進製程,實現
    次世代奈米高潔淨密封技術
  • 耐腐蝕產業應用
  • 半導體
    SEMICONDUCTOR
    憑藉多年的行業經驗,在全球領先的半導體晶圓代工廠造商與設備製造商取得信任EQUATOR® 氟化彈性體為他們的關鍵應用提供了可靠與有效節省的解決方案。EQUATOR® 氟化彈性體密封件,全程使用潔淨室等級以上之高規格環境所生產製造,研發團隊....
    更多半導體產業應用
  • 工業
    INDUSTRY

    EQUATOR® 憑藉多年的工業技術經驗廣泛的應用在化工,製紙,採礦,污水處理,石油設備,發電廠,鋼鐵業等,EQUATOR® 氟化彈性體全系列(FKM,Ter-Polomer,FFKM) 耐高溫,耐高壓,耐油,耐酸,耐腐蝕性溶液,耐化學劑,抗UV,抗臭氧...

    更多工業產業應用
  • EQUATOR®系列
  • FFKM
    Simba™系列

    EQUATOR® 旗下的Simba™,是針對密封高性能需求者所設計推出之全氟化橡膠FFKM產品,並提供各式標準規格及客製化訂製成品...

    了解FFKM - Simba™系列
  • TERPOLYMER
    Leopard™系列

    EQUATOR® 旗下的Leopard™,具有優異的耐化性,且對密封性能有一定程度的需求者所設計推出之高氟化橡膠產品...

    了解TERPOLYMER - Leopard™系列
  • FKM
    Chita™系列

    EQUATOR® 旗下的Chita™系列,具有良好的耐溫及耐化性,對於價格和品質有一定需求的客戶,所設計推出之氟化橡膠產品...

    了解FKM - Chita™系列
  • 耐腐蝕製程應用
  • EQUATOR® 有著超過15年以上的卓越製造經驗,為因應產業不斷的發展與創新,面對嚴苛的製程條件,我們致力於提供各種解決方案,持續開發新的特殊彈性體材料並同步提供最佳的密封解決方案。
    • 薄膜製程TF
    • 薄膜製程分為CVD ( 化學氣相沉積 ),PVD ( 物理氣相沉積 ) 此兩種沉積方式均會對製程密封應用來說有著不同的考驗。
    • 蝕刻製程Etch
    • 蝕刻製程分為 Dry Etching ( 乾式蝕刻 ) ,Wet Etching ( 濕式蝕刻 ) 。蝕刻製程上主要使用高強度電漿與不同的化學品均會對製程密封應用來說有著不同的考驗。
    • 擴散製程Diff
    • 擴散製程分為 Ion Implantation ( 離子植入 ),Diffusion ( 擴散 ) 。擴散製程上主要使用極高的溫度與不同的化學品均會對製程密封應用來說有著不同的考驗。
  • 耐腐蝕產品系列
  • EQUATOR® 廣泛創新 O型環及系列產品,與客戶一起從中找出與產業應用的最佳搭配組合。
Simba SP609
  • SimbaTM SP609
  • 產品特性:
  • 對於O2電漿環境有良好的耐受性
    良好的不沾粘性
  • 產品應用:
  • 反應槽密封件(Chamber Seals)
    管線接頭密封件(Fitting Seals)
    氣體管線密封件(Gas Inlet/Outlet Pumping Line Seals)
    閥件密封件(Valve Seals)
    閥門開關(Slit valve doors)
Simba SP613
  • SimbaTM SP613
  • 產品特性:
  • 優異的物理特性
    優異的化學品耐受性
  • 產品應用:
  • 反應槽密封件(Chamber Seals)
    管線接頭密封件(Fitting Seals)
    氣體管線密封件(Gas Inlet/Outlet Pumping Line Seals)
    閥件密封件(Valve Seals)
    閥門開關(Slit valve doors)
Leopard LP503
  • LeopardTM LP503
  • 產品特性:
  • 對於O2電漿環境有良好的耐受性
    良好的不沾粘性
  • 產品應用:
  • 反應槽密封件(Chamber Seals)
    管線接頭密封件(Fitting Seals)
    氣體管線密封件(Gas Inlet/Outlet Pumping Line Seals)
    閥件密封件(Valve Seals)
    閥門開關(Slit valve doors)
Leopard LP507
  • LeopardTM LP507
  • 產品特性:
  • 對於O2、NF3電漿環境有良好的耐受性
    良好的不沾粘性
  • 產品應用:
  • 反應槽密封件(Chamber Seals)
    管線接頭密封件(Fitting Seals)
    氣體管線密封件(Gas Inlet/Outlet Pumping Line Seals)
    閥件密封件(Valve Seals)
    閥門開關(Slit valve doors)